使用更安全――在真空或惰性條件下，完全消除氧化物遇熱爆炸的可能；各種構造復雜的機械部件或其他多孔樣品經過清洗后使用真空干燥法，完全干燥后不留任何參與物質；與依靠空氣循環的普通干燥相比，粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動。
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質，還對機械摩擦點起潤滑、冷卻和密封作用。主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
這是真空烘箱真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環境下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。真空烘箱真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。
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