真空環境大大降低了需要驅逐的液體的沸點，所以真空干燥可以輕松應用于熱敏性物質；
對于不容易干燥的樣品，例如粉末或其他顆粒狀樣品，使用真空干燥法可以有效縮短干燥時間；
對于微型泵充氣端阻力的大小可以用儀器測定，把它與泵的技術參數“進氣口允許大阻力”Por值比較可以知道選型是否合適。通常根據經驗采用簡便的方法確定，比如下述幾種情況都屬于負載較大(即泵的抽氣端阻力較大)，只能在微型真空泵范圍內選型：①在泵的抽氣端要接很長的管道，或管道彎曲點多、彎曲厲害甚至會阻塞封閉，或管道內孔很小(比如小于φ2毫米)；②在管路上有節流閥、電磁閥、氣路開關、過濾器等元件；③泵抽氣口與密閉容器連接，或該容器雖未密閉但進氣量較小；④泵抽氣口與吸盤連接，用于吸附物體(如集成塊、精密工件等)；⑤真空烘箱泵的抽氣端與過濾容器相連，容器口放置濾網，用于加速液體過濾。充氣泵無論何種原因造成保壓回路壓力下降，增壓泵將自動啟動，補充泄漏壓力，保持回路壓力恒定。操作安全：采用氣體驅動，無電弧及火花，完全用于有易燃、易爆的液體或氣體場所。維護簡單：與其他氣驅泵相比，增壓泵可完成相同的工作，但其零件及密封少，維護簡單性價比高：增壓泵是一種柱塞泵，工作時增壓泵迅速往復工作，隨著輸出壓力的增高，泵的往復減慢直至停止，此時泵的壓力恒定，能量消耗低，各部件停止運動。
用于充氣的微型泵分為兩類：氣體采樣泵和微型真空烘箱真空泵。雖然通常總是不加區分地把它們簡單統稱為微型真空泵，但從技術角度二者是有區別的，選型時更要特別注意。
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