干燥箱分為：鼓風(fēng)干燥箱和真空干燥箱，：鼓風(fēng)干燥箱憑借鼓風(fēng)機(jī)對工作室內(nèi)的空氣進(jìn)行熱風(fēng)微循環(huán)處理；而真空干燥箱則是通過先抽真空，進(jìn)入保壓狀態(tài)，再對物料進(jìn)行加熱，這種方法能防氧化，那么真空干燥箱的真空度一般是多少數(shù)值呢？通常能達(dá)到133pa，等于-0.1兆帕。而壓力傳感器芯片設(shè)計(jì)采用了雙島梁結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)綜合了平膜、梁膜、島膜的優(yōu)點(diǎn)，既保持了梁膜結(jié)構(gòu)靈敏度高的特性，又吸收了平膜結(jié)構(gòu)線性度好的優(yōu)點(diǎn)。雖然雙島梁膜結(jié)構(gòu)有著眾多的優(yōu)點(diǎn)，但由于其結(jié)構(gòu)相對較為復(fù)雜，很難建立起分析模型，這為優(yōu)化該種傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)、合理布置電阻條的位置及工藝方面的設(shè)計(jì)帶來了困難。
壓力傳感器從原理上分有電容式、壓阻式和諧振梁式3種。由于壓阻式壓力傳感器，具有靈敏度高、線性度好和抗過載等優(yōu)點(diǎn)，在微壓力的測量上有著廣泛地應(yīng)用。文中設(shè)計(jì)的是200Pa 超微壓力傳感器，采用壓阻式壓力傳感器進(jìn)行分析研究。
對于半導(dǎo)體硅材料，由于外界壓力會引起材料內(nèi)在應(yīng)力的改變，而應(yīng)力又會引起能帶變化，使能谷能量產(chǎn)生移動，進(jìn)而導(dǎo)致電阻率變化，這種效應(yīng)稱為壓阻效應(yīng)。在半導(dǎo)體中，由于壓阻效應(yīng)而引起的電阻的改變占主導(dǎo)作用壓阻式壓力傳感器的工作原理是基于半導(dǎo)體硅的壓阻效應(yīng)的，單晶硅或多晶硅在受到拉力（ 或壓力） 作用時(shí)，其體積將發(fā)生變化，長度和橫截面積發(fā)生改變，使其電阻值有一定的改變，這種由于長度或面積改變而使電阻改變的效應(yīng)，稱之為幾何電阻效應(yīng)。對于半導(dǎo)體硅材料而言，幾何效應(yīng)引起的電阻改變，相對于壓阻系數(shù)改變引起的電阻改變是很小的。
為更準(zhǔn)確地了解雙島梁膜芯片膜片的具體結(jié)構(gòu)參數(shù)，如應(yīng)變模的長度、厚度以及電阻條尺寸，文中進(jìn)行了相關(guān)理論計(jì)算分析。并采用有限元方法研究了溫度對傳感器線性度和靈敏度的影響，后對模片尺寸參數(shù)進(jìn)行了對比分析。
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