HASUC干燥箱家族添新成員了.近日我司推出了一款帶基片處理系統真空干燥箱,該干燥箱是我司廣大的科研人員認真努力,攻克技術難關經過數百個日夜研制出來的,如果它終于上市了。
有興趣的朋友可以來電來函咨詢。
產品特點:
1、機外殼采用醫用級不銹鋼316L材質制造,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
3、微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。
4、智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。
5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。
6、整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100 級光刻間凈化環境。
電源電壓:AC 380V±10%/50Hz±2%
輸入功率:4000W
控溫范圍:室溫+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:±0.5℃
達到真空度:133Pa
容積:210L
工作室尺寸(mm):560*640*600
外形尺寸(mm):720*820*1750
載物托架:3塊
時間單位:分鐘