傳統(tǒng)制造磁通門(mén)的方法是防潮箱在高導(dǎo)磁鐵芯上用機(jī)械的方法纏繞上勵(lì)磁線圈和感應(yīng)線圈制成探頭，再與接口電路連接起來(lái)，這種方法制作的磁通門(mén)在微型磁通門(mén)體積、質(zhì)量以及功耗等許多方面都難以實(shí)現(xiàn)微型化。目前，利用MEMS防潮箱技術(shù)與半導(dǎo)體集成電路工藝微型磁通門(mén)相結(jié)合是研制微型磁通門(mén)傳感器的突破口。由于微加工技術(shù)的要求，微型固態(tài)傳感器必須制作在某種固體襯底材料上，襯底材料的不同，使得傳感器的制作方法也不同。據(jù)文獻(xiàn)報(bào)道，目前微型磁通門(mén)的制造工藝主要分為三種: 一是利用PCB板加工制作磁通門(mén)探頭,2000年，瑞士的O.Dezuari等發(fā)表了他們利用三層PCB防潮箱板制作微型磁通門(mén)探頭的技術(shù)，該磁通門(mén)在10kHz的勵(lì)磁頻率下，靈敏度為18V/T。 與此同時(shí)，其同胞Pavel Kejik等也制作出PCB板式探頭的磁通門(mén)傳感器，在8.4kHz的頻率激勵(lì)下，防潮箱其靈敏度為55V/T。二是在非半導(dǎo)體（如釩、玻璃等）襯底上制作磁通門(mén)探頭。1994年，I.Vincueria等利用平面加工技術(shù)在金屬釩襯底上制作了微型磁通門(mén)探頭防潮箱。線圈由Ti-Pd-Cu三層構(gòu)成，其中Ti和Pd是用低壓氣相淀積（LPVD）方法制作，Cu是用電鍍的方法制作而成防潮箱。另外，2防潮箱000年P(guān).A.Roberson發(fā)表了制作在玻璃上的微型磁通門(mén)傳感器防潮箱。三是在半導(dǎo)體材料特別是硅襯底上制作磁通門(mén)探頭以及包括接口電路在內(nèi)的磁通門(mén)系統(tǒng)。1990年，瑞士的T. Seitz先采用微電子平面工藝制作了世界上個(gè)微型磁通門(mén)傳感器，該磁通門(mén)將磁芯和感應(yīng)線圈集成到一個(gè)芯片上。
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